在半導(dǎo)體晶圓加工中,利用聚四氟乙烯材質(zhì)耐腐蝕的特性,在聚四氟乙烯腐蝕槽中加入HF與二氧化硅反應(yīng),進(jìn)行邊緣剝離等。聚四氟乙烯槽通過模具一體模壓燒結(jié)成型,整體沒有焊點(diǎn),所以完全不用擔(dān)心會有滴漏的風(fēng)險(xiǎn)。在半導(dǎo)體生產(chǎn)中,如果需要對大型的零件進(jìn)行浸泡清理,就要用到大型的聚四氟乙烯焊接槽,
主要應(yīng)用為:
1、晶圓清洗槽;
2、溫度加熱清洗槽;
3、藥液儲存槽;
聚四氟乙烯一體槽的特點(diǎn):
1、通過模具模壓一體成型,不用擔(dān)心泄露風(fēng)險(xiǎn);
2、選用全新無污染的PTFE原材料;
3、可以長期耐受強(qiáng)腐蝕性液體;
4、耐溫可達(dá)到200℃;
5、可以焊接接頭零部件等;
6、排水孔的位置也可以自由設(shè)計(jì)。